一、標識
中文名:六氟化鎢 英文名:Tungsten hexafluoride
分子式:WF6 分子量:297.8
CAS號:7783-82-6 危險性類別:第2.3類有毒氣體
二、理化性質(zhì)
熔點:2.3 沸點:17.5 相對密度(水=1):3.44
三、主要用途
在微電子工業(yè)和材料加工改性中,六氟化鎢用于離子注入或化學氣相沉積硅化鎢或鎢膜,用以制作低電阻、離熔點的電路互連線和柵極,還有抗X射線或γ射線的保護罩,高效太陽能吸收器。
三、運輸方式
包裝類別:Ⅱ 包裝標志:6
四、儲運注意事項
儲存于陰涼、干燥、通風良好的不易燃庫房。遠離火種、熱源。防止陽光直射。防止受潮。與其他物品分開存放。平時要注意檢查容器是否有泄漏現(xiàn)象。搬運時戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈,防止鋼瓶碰撞、損壞。
五、泄漏處理
疏散泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū),禁止無關(guān)人員進入污染區(qū),應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器,穿廠商特別的化學防護服(完全隔離)。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)(或擴散),但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。勿使水進入包裝容器內(nèi),抽排(室內(nèi))或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用,且要經(jīng)過技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。